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GB∕T 38341-2019 微机电系统（MEMS）技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法.pdf
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2025-12-24发布0 浏览19 页0 次下载1.23 MB
GB∕T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术带状薄膜抗拉性能的试验方法.pdf
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2025-12-23发布0 浏览13 页0 次下载1.19 MB
GB∕T38447-2020微机电系统（MEMS）技术MEMS结构共振疲劳试验方法.pdf
犐犆犛３１．２００犔５５� � � � � � � � � � �犌犅／犜３８４４７—２０２０��（犕犈犕犛）��犕犈犕犛�...
2025-12-21发布0 浏览18 页0 次下载1.57 MB
GBT 28274-2012 硅基MEMS制造技术版图设计基本规则.pdf
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GBT 28276-2012 硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范.pdf
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GBT 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范.pdf
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GBT 32817-2016 半导体器件微机电器件 MEMS总规范.pdf
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GBT 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范.pdf
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GBT 28275-2012 硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范.pdf
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GBT 33929-2017 MEMS高g值加速度传感器性能试验方法.pdf
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GBT 32815-2016 硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范.pdf
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GBT 28277-2012 硅基MEMS制造技术微键合区剪切和拉压强度检测方法.pdf
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GBT 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术术语.pdf
ICS31．200L 55园亘中华人民共和国国家标准GB／T 261 11—2010微机电系统( MEMS) 技术术语Mi cro—el ectromechani cal systemtec...
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GB∕T 35086-2018 MEMS电场传感器通用技术条件.pdf
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2025-11-23发布90 浏览17 页5 次下载3.58 MB
GBT 33922-2017 MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法.pdf
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2025-11-22发布111 浏览16 页4 次下载1.23 MB